洁净室的级别是按其空气洁净度划分的。1963年，发明了单向流理念的圣地亚公司的专家们，在美国军方、政府部门和同行们的支持下撰写了第一个FS 209标准，以0.5μm粒径的悬浮粒子数量作为洁净度级别判定的依据。该标准对洁净室的设计和运行产生了巨大的影响，并成为包括ISO 14644-1在内的诸多国际标准的基础。

      在洁净度级别的判定和日常检测中，检测人员应确认以下测试参数：

Ø  最小采样点的个数

Ø  采样点的位置

Ø  最少采样体积和采样时间